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革新之路:立式磨床在电子元件研磨的突破与应用

来源: | 发布日期:2025-12-25
电子元件如半导体晶圆、陶瓷基板等,要求研磨表面无划痕、平面度≤0.001mm。山东临磨立式磨床在电子元件研磨领域实现技术突破,开辟新应用场景。
设备采用气浮主轴与超硬磨料砂轮,加工 6 英寸晶圆时,表面粗糙度达 Ra0.01μm,无亚表面损伤。针对陶瓷基板的脆性材料特性,采用缓进给磨削技术,去除率达 5μm/min,效率提升 2 倍。
其洁净室级设计(Class 100)可避免粉尘污染,满足电子元件的高精度、高洁净度要求。山东临磨立式磨床,为电子制造业提供超精密研磨解决方案。

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