整体来看,临磨股份的铣磨机(含半导体用铣磨机)在半导体多晶硅加工中优势显著,既具备针对性的工艺适配能力,又能保障加工效率与精度,为多晶硅半导体元件的规模化生产提供可靠支撑。
多晶硅作为半导体领域常用原料,相较于单晶硅,其晶体结构更复杂,加工时易出现表面粗糙度超标、局部应力集中等问题,且对设备的耐磨性能和参数调节灵活要求更高。临磨股份的铣磨机针对多晶硅特性,做了多重优化:在核心参数设置上,可根据多晶硅的纯度等级(如电子级、太阳能级)调整铣削度与进给速度,避免因参数固定导致的加工缺陷;半导体用铣磨机还特别升级了刀具材质,采用高硬度碳化钨铣刀,减少多晶硅加工过程中的刀具损耗,延长更换周期。同时,设备的加工平台具备模块化设计,针对不同尺寸的多晶硅锭,无需整体更换夹具,仅需调整平台定位组件,即可快速切换加工规格,大幅降低换产时间成本。
在精度与效率平衡上,临磨股份的铣磨机配备了双路冷却系统,一方面通过低温切削液控制多晶硅加工时的温度上升,防止材料因热变形影响精度;另一方面,冷却系统可同步清理加工碎屑,避免碎屑附着导致的表面划伤。此外,设备搭载的智能控制系统能实时采集多晶硅加工过程中的振动数据,当检测到异常振动时,自动调整主轴转速,保障加工稳定性。在实际应用中,这类铣磨机加工多晶硅的表面粗糙度可稳定控制在Ra0.2μm以下,且单批次加工效率较传统设备提升约15%,已在多家半导体晶圆制造企业的多晶硅预处理环节投入使用。
综上,临磨股份的铣磨机凭借工艺适配性强、精度可控、效率突出的优势,成为半导体多晶硅加工的优选设备,解决了多晶硅加工中的核心痛点。