石英基板因其硬度高、化学稳定性好、热膨胀系数低而被广泛应用于半导体光学领域。然而,石英的硬脆特性使其在磨削加工中极易产生崩边和微裂纹,如何实现石英基板的高精度、低损伤磨削,一直是行业内的技术难点。山东临磨的MP74125
立轴圆台平面磨床
针对石英材质的特点进行了专项优化,突破了石英高精度磨削的技术瓶颈。
在石英基板的实际磨削中,立轴圆台平面磨床采用了分段磨削工艺和精细的进给控制策略。粗磨阶段以大进刀量快速去除余量,精磨阶段以小进刀量、慢进给速度保证表面质量,有效降低了磨削过程中石英基板的应力集中和微裂纹风险。0.001毫米的进刀量控制能力使得石英表面从粗磨到精磨的过渡更加平滑,显著降低了崩边发生率。山东临磨的圆台平面磨床定位精度可达±0.001mm,加工后石英基板的尺寸公差控制在±0.005mm,表面粗糙度完全符合光学应用标准。
对于半导体光学企业而言,石英基板的磨削质量直接决定了光学元件的透光率和成像质量。山东临磨的立轴圆台平面磨床以其高精度、高稳定性的加工能力,为石英等硬脆光学材料的高端应用提供了一个可靠的加工平台,帮助半导体光学企业在高端市场中占据一席之地。